電子無塵車間的顯著特點就是占地面積達大,因此在裝修之前要明確該無塵車間的標準和布局知識,電子無塵車間的標準無外乎噪聲級(空態)不應大于65dB(A)、人每小時的新鮮空氣量不小于40每立方等,但是要想達到這些標準,要特別注重設備的布局。
1.電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)
2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa
4.電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
5.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6.保給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40每立方。
?。?)平面由工藝決定,電子工業潔凈廠房的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性,滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
?。?)主體結構宜采用大空間及大跨度柱網,不宜采用內墻承重體系。
?。?)大型電子工業潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造。
?。?)應考慮大型生產工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產環境的安裝口或檢修口。
(5)電子工業無塵車間按二級耐火等級設計。
(6)特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與無塵車間(區)分開,該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區至少三面是敞開的,氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M,儲存區設置的雨篷應不低于3.5M。
(7)電子工業無塵車間的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。
(8)電子工業無塵車間允許設空氣吹淋室,這是和一般生物無塵車間不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數為30人一間設計,當工作人員超過5人時,應設旁門,當人數太多或為了縮短通過時間,也可設遂道式吹淋室。
?。?)對于高級別無塵車間,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具。
?。?0)電子工業無塵車間常要根據生產工藝要求設置防靜電環境,以便抑制靜電的產生,將已產生的靜電迅速、安全的排除。
(11)電子工業無塵車間友有對防微振的特殊要求,在廠地環境上應避開振動源。
?。?2)電子工業無塵車間除有一般給排水要求外,對超大規格集成電路的用水也有標準。