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   通過對潔凈車間裝修、潔凈室裝修等凈化工程20年深入研究和工程經驗積累，磊建凈化可以提供從潔凈車間裝修整廠規劃設計——人流物流凈化方案、潔凈空調系統、潔凈裝飾系統;整廠節能改造、水電、超純氣體管道、無塵室監測、維護系統等全面安裝配套服務;所有產品和服務符合Fed 209D, ISO14644, IEST,EN1822等國際標準。
   集成電路無塵車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

　潔凈車間裝修結構材料：

　　1.潔凈車間墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

　　2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

　　3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。

　　4.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

　集成電路潔凈車間是滿足半導體制造工藝要求的潔凈室。潔凈車間對環境潔凈度、溫濕度、振動、靜電放電、AMC控制等有一定要求。與其它工業潔凈室相比，集成電路潔凈車間具有占地面積大、潔凈度高、溫濕度控制精度高等特點。所以集成電路制造的工廠潔凈車間裝修投資金額巨大，電路板上一顆顆小小的IC都有數百萬顆甚至數千萬顆的晶體管。塵粒容易使芯片失效或可靠度降低 ，所以半導體集成電路制造的過程必須在潔凈車間內進行。下面來看看EPC工程(總承包)服務商磊建凈化的上海某半導體集成電路(IC)潔凈車間裝修案例，談談半導體集成電路電子潔凈車間建設要點。

 

　　為了滿足半導體制造工藝的需求刨除上面所說的特點，還對振動、ESD(靜電控制)、AMC(氣態分子級污染物)控制等專業技術內容都有特殊的要求。按照半導體集成電路的集成度劃分生產環境的空氣潔凈度等級，不同的工序的空氣潔凈度等級依據將會污染的概率和對元器件的潛在故障確定劃分。從節能角度出發，在潔凈廠房中把加工工藝核心區隔離，在微環境的隔離區內做到所規定的空氣潔凈度等級和環境控制規定(M度、相對濕度、壓力)。送風系統選用的是FFU系統。

 

　　FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為最主要的凈化設計方案。

 

　　FFU循環系統的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環空氣的動力，將新風、循環風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產輔助區為集成電路制造廠務設備區域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。

 

　　半導體集成電路電子潔凈車間的空壓氣體工程主要由以下系統組成：空氣流程系統、潤滑油流程系統、冷卻系統、安全保護系統、控制系統及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設備部件。另外在空壓機系統中大多配置冷干機和空氣干燥器。

 

 

　　因為過于干燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，半導體集成電路廠房對靜電的控制格外重視，必須保證室內維持指定的溫濕度來避免靜電事故。溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規定)。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。

集成電路(IC)廠房潔凈車間如何做好AMC控制

　　AMC，全稱Airborne Molecular Contamination，即空氣中分子級污染物。AMC來源于潔凈車間內及室外空氣。潔凈室內的AMC主要來源于以下幾個方面：工藝生產使用的各種化學品，工藝設備和原材料的氣體釋放，室內操作人員以及各種建筑材料等。室外空氣中的AMC多少與IC廠房所在地的空氣質量有關，且地方差異性較大，通常越是工廠集中的工業區來自室外的AMC就越嚴重。

　　AMC的控制

　　減少潔凈室內的AMC應從以下四個方面進行控制：

　　(1)控制室內產生：

　　工藝生產線本身是AMC最大的產生源，因工藝生產中要使用各種化學品，這些化學品或多或少的要散發到室內空氣中形成AMC，所以首先應從生產工藝上考慮盡量減少化學品的使用，另外應控制工藝設備的制作材料、涂料的釋放氣體。

　　目前通常采取以下措施：

　　盡量采用AMC釋放低的建筑裝修材料、涂料及密封材料，目前常用的建材中聚四氟乙烯、玻璃、不銹鋼、鋁合金、表面經烤漆處理的金屬材料、高彈性聚氨脂涂料、環氧瓷漆等是可以接受的，而環氧樹脂涂料、硅密封膠、單H雙面密封膠帶、阻燃劑已不適用了;

　　改進建筑材料加工工藝，提高加工精度，工程中盡量不用密封膠;

　　潔凈系統中的HEPA/ULPA過濾器應采用聚四氟乙烯(PTFE)或低硼低有機物的玻璃纖維制作，另外目前常用的DOP測試方法以及鈉焰測試也是不能接受的，SEMATECH推薦采用以去離子水霧攜帶的固態聚苯乙烯(polystyrene latex,PSL)小球作為測試粒子;

　　系統中的吸音材料盡量不用玻璃纖維，可以用發泡金屬等材料代替;上靜壓箱用無密封的烤漆板制作;

　　制作風管的材料必須脫脂，密封墊用丁基橡膠;

　　潔凈室空間內的電纜也應采用AMC釋放低的材料制作。

　　(2)控制室外侵入：

　　首先潔凈室空間等應密閉，使周圍環境的AMC不滲入潔凈室;其次應防止室外空氣中的AMC進入潔凈室內，為此有兩個方面需要考慮：

　　第一，新風入口應合理，盡量遠離排風口及其他污染源，另外建廠地點應合理。

　　第二，IC廠所在地的室外空氣中如含有對生產工藝敏感的AMC，則在室外空氣送入潔凈室前應進行可靠的處理，根據室外空氣中AMC的種類、濃度以及工藝要求在新風處理機組中設置相應的化學過濾器，也可以在新風處理機組中設淋洗裝置加以去除。

　　(3)控制擴散：

　　對于生產中必須要使用化學品的工藝設備應盡量采取密閉措施，并設置可靠的排風，以減少化學品的散發。另外合理的氣流組織對防止擴散也很重要，潔凈系統設計時應充分考慮減少各區域的氣流交叉。

　　(4) 化學過濾：

 

　　采取了以上措施雖然可以降低潔凈室內的AMC濃度，但不可能完全杜絕AMC的產生，而有些生產工序對AMC又比較敏感，雖然潔凈系統中裝有HEPA/ULPA過濾器，該過濾器對于過濾灰塵粒子有效果，但對于AMC幾乎不起作用，所以有些生產區域還應設置化學過濾器，以去除潔凈室內的AMC。通常做法是在FFU的HEPA/ULPA過濾器與風機之間增設化學過濾器，針對區域一般是勻膠、顯影區以及CVD區。